電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體。與傳統(tǒng)的工業(yè)氣體相比，電子氣體特殊在氣體的純凈度要求極高，所以也稱為電子特種氣體。電子特種氣體不僅用于半導(dǎo)體工業(yè)，還用于LED、LCD、分立器件、非晶硅太陽能電池和光導(dǎo)纖維的制造。

在硅片制造廠，一個硅片需要兩到三個月的工藝流程，完成450道或更多的工藝步驟才能得到有各種電路圖案的芯片。這個過程包括外延、成膜、摻雜、蝕刻、清洗、封裝等諸多工序，需要的高純電子化學(xué)氣體及電子混合氣高達(dá)30多種以上，且每一種氣體應(yīng)用在特定的工藝步驟中。

圖表 電子氣體的作用

   進入20世紀(jì)90年代以后，隨著我國高新技術(shù)的快速發(fā)展，計算機工業(yè)對大規(guī)模集成電路的需求，對液晶顯示器的需求大量增加；隨著新型能源的發(fā)展，我國大力開拓了多晶硅太陽能電池和薄膜太陽能電池的生產(chǎn)；此外，新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件也獲得迅猛發(fā)展，在上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中，都需要大量高純氣體，以制造出性能可靠的各種器件。

圖表 電子工業(yè)生產(chǎn)中急需的高純氣體

    中國特種功能電子氣體市場規(guī)模近年來逐年增長，2015年特種電子氣體的市場規(guī)模為85億元，同比增長14.86%，其中應(yīng)用于半導(dǎo)體電子特氣55.3億元。到2016年，中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。

圖表 2010-2017年中國特種電子氣體市場規(guī)模及增速情況（單位：億元，%）

    2017年特種電子氣體企業(yè)市場份額

    特種電子氣體行業(yè)整體市場可以說是屬于國外的市場，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國家對該行業(yè)的發(fā)展實施封鎖，特別是對一些關(guān)鍵特種電子氣體產(chǎn)品（如高純磷烷和砷烷）實施禁運。

   從全球市場的特種電子氣體市場布局來看，2015年電子特種氣體市場74億美元，主要生產(chǎn)供應(yīng)商是美國氣體化工（APCI）、美國普萊克斯（Praxair）、日本昭和電工（Showa Denko）、英國BOC 公司、法國液化空氣（Air Liquid）、日本酸素公司等。

圖表4：全球電子特種氣體市場競爭格局（單位：%）

從中國市場結(jié)構(gòu)來看，主要表現(xiàn)為：

圖表 我國電子特種氣體市場競爭格局（單位：%）