為提高生產(chǎn)設備的妥善率與產(chǎn)品良率，以確保業(yè)者的生產(chǎn)效益與獲利，臺灣國科會自2004年開始與均豪精密工業(yè)公司及群錄公司共同補助由成功大學制造所鄭芳田教授所帶領之研究團隊，為期兩年，致力于“智能型預測保養(yǎng)與虛擬量測技術“之開發(fā)計劃。該研究團隊所研發(fā)之技術，已成功地在面板顯示器廠與半導體廠生產(chǎn)設備上完成功能與精度驗證等工作。

　　成功大學制造工程研究所鄭芳田教授表示，半導體與面板顯示器產(chǎn)業(yè)是臺灣目前最重要的兩項高科技產(chǎn)業(yè)。此二產(chǎn)業(yè)投資規(guī)模龐大，各家廠商比的是量產(chǎn)規(guī)模，產(chǎn)能越大越具備生產(chǎn)效益。因此，在如此高的投資成本之下，如何讓生產(chǎn)設備保持每天24小時不間斷地正常運轉(zhuǎn)且維持高良率就顯得十分重要。

　　有鑒于此，在其進行的“智能型預測保養(yǎng)與虛擬量測“計劃中，研發(fā)出一套智能型預測保養(yǎng)系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含數(shù)個通用型嵌入式裝置與遠程主機，此通用型嵌入式裝置可以嵌入于不同種類的設備中，以擷取設備之工程數(shù)據(jù)。此通用型嵌入式裝置內(nèi)更具有一個應用接口，用以發(fā)展應用模塊。

　　鄭芳田解釋說，由于TFT-LCD之玻璃基板非常脆弱，在輸送的過程中，若相鄰兩個輸送模塊之間的馬達轉(zhuǎn)速差異超過所能容許的限度時，將對玻璃基板造成刮傷而導致該基板報廢。此外，若輸送設備中偵測玻璃基板位置的傳感器故障，將會導致玻璃基板相撞或沖出輸送設備而造成破碎。因此，須建構一套預測保養(yǎng)系統(tǒng)，并發(fā)展一套具有動態(tài)加載功能的預測保養(yǎng)模塊，用來偵測玻璃基板輸送設備的馬達轉(zhuǎn)速之間的差異、傳感器故障、與載具轉(zhuǎn)換器(Cassette Changer)的定位高度差異等問題；并在發(fā)現(xiàn)異常時能發(fā)出一異常訊息給遠程主機，且在可能造成玻璃基板損壞前，通知輸送設備控制器進行緊急停機處理。

　　針對這些需求，該計劃將解決方案與架構發(fā)展成一套可插入通用型嵌入式裝置之預測保養(yǎng)模塊。目前，此預測保養(yǎng)系統(tǒng)已成功地安裝于均豪精密工業(yè)公司的TFT-LCD五代玻璃之輸送裝置及載具轉(zhuǎn)換器上，充當展示機之用。

　　鄭芳田指出，此虛擬量測技術已技轉(zhuǎn)至奇美電子與臺積電，將用來取代部分實際量測、實現(xiàn)逐片檢測(Wafer-to-Wafer)模式之先進制程Run-to-Run控制、及減少(或免除)監(jiān)控片的消耗量。

　　鄭芳田表示，目前半導體與面板顯示器產(chǎn)業(yè)都在大力推動E化制造(e-Manufacturing)，尤其是在積極建構設備工程系統(tǒng)，期能提升總體設備效能。此計劃所研發(fā)的通用型嵌入式裝置乃依照國際半導體協(xié)會所制訂的設備工程接口規(guī)格(SEMI Interface A Standards)而設計，而且又具有一個應用接口，使各種設備工程系統(tǒng)的功能模塊(如預測保養(yǎng)模塊與虛擬量測模塊等)能易于加入。此通用型嵌入式裝置亦可被應用于如車用電子或其它科技產(chǎn)品之預測保養(yǎng)系統(tǒng)，極具商業(yè)潛力。