低溫真空泵是一種利用20K以下低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵，又叫低溫泵、冷泵、冷凝泵，一般是以低溫液體（液氮或液氦）或低溫制冷機(jī)為冷源。低溫真空泵以其高效的抽氣能力和極低的極限壓力，為半導(dǎo)體、顯示面板制造、分子束研究、真空鍍膜、表面分析、離子注入以及空間模擬等高科技領(lǐng)域提供了理想的清潔真空環(huán)境。
   目前，我國低溫真空泵市場呈現(xiàn)外資品牌和本土品牌共同競爭的格局：
    ①外資企業(yè)代表性公司有日本愛發(fā)科、日本住友、CTI等，外資企業(yè)在項目規(guī)模和資金投入較大，其技術(shù)成熟度也達(dá)到了世界先進(jìn)水平，在低溫真空泵行業(yè)中處于競爭優(yōu)勢地位，其中，日本住友產(chǎn)品性能較高，其客戶集中于要求高的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域；日本愛發(fā)科的客戶集中于顯示面板領(lǐng)域；CTI雖然技術(shù)實力及產(chǎn)品性能較強(qiáng)，但作為美國企業(yè)，其受到美國對華高技術(shù)領(lǐng)域制裁，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商基于供應(yīng)鏈安全考量，主動推進(jìn)關(guān)鍵零部件的“去美化”，使得CTI幾乎放棄在華低溫真空泵業(yè)務(wù)。
    ②本土企業(yè)代表性企業(yè)有浙江博開機(jī)電科技有限公司與安徽萬瑞冷電科技有限公司、南京鵬力科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)等，其中，安徽萬瑞冷電科技有限公司作為本土領(lǐng)先的低溫真空泵生產(chǎn)商，立足于國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商需求，研發(fā)和生產(chǎn)高端產(chǎn)品，其產(chǎn)品批量供應(yīng)北方華創(chuàng)，助力國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)鏈自主化；南京鵬力科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)作為中船旗下企業(yè)，在制冷機(jī)方面具備優(yōu)勢，為其低溫真空泵技術(shù)發(fā)展提供了技術(shù)支撐。整體而言，本土企業(yè)由于研發(fā)生產(chǎn)時間短，生產(chǎn)技術(shù)和工藝與國際領(lǐng)先水平還具有一定差距，能夠量產(chǎn)的低溫真空泵產(chǎn)品種類較少，整體供給能力有限。2023年，中國低溫真空泵產(chǎn)量不足2500臺，遠(yuǎn)不能滿足國內(nèi)需求。
   隨著國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，下游領(lǐng)域?qū)Φ蜏卣婵毡玫漠a(chǎn)品性能要求持續(xù)提升，尤其是產(chǎn)品的抽速、恢復(fù)時間、抽氣容量、再生周期、能耗等指標(biāo)。例如，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，下游用戶對氫氣和氬氣等氣體的抽氣速度和容量需求日益增長。具備大抽速和大容量特性的低溫泵不僅能夠滿足半導(dǎo)體制造技術(shù)進(jìn)步的需求，還能有效延長泵的再生周期，從而提升整體的生產(chǎn)效率。因而，國內(nèi)低溫真空泵企業(yè)可以通過改進(jìn)壓縮機(jī)、變頻技術(shù)等方式縮短降溫時間，并朝著集成度、智能化、網(wǎng)絡(luò)化更高的方向發(fā)展，通過優(yōu)化控制算法使其可滿足不同工況與應(yīng)用環(huán)境，進(jìn)一步提升技術(shù)及產(chǎn)品競爭力。