碳酰氟為環(huán)境友好型含氟電子特氣之一，具有零消耗臭氧潛能值（ODP）、低全球變暖潛能值（GWP）等特點，可替代全氟化碳（PFC）、三氟化氮等傳統(tǒng)產(chǎn)品。碳酰氟又稱氟光氣、羰基氟、氟化羰，分子式為CF2O，是一種具有刺激性的無色氣體，可溶于乙醇和水，遇水可水解排放出劇毒氟化氫、二氧化碳氣體。
　　碳酰氟可用于在半導體制造、有機化工等領(lǐng)域，在半導體制造中，碳酰氟可用作晶圓刻蝕氣體、半導體設(shè)備清洗氣體，在有機化工領(lǐng)域，碳酰氟可用作氟化原料及氟化中間體等。根據(jù)純度不同，碳酰氟分為≥99%、＜99%兩類，純度≥99%的碳酰氟市場占比較高，其主要應(yīng)用在純度要求較高的半導體制造領(lǐng)域。
　　碳酰氟制備方法包括一氧化碳電解氟化法、光氣氟化法、二氧化碳氟氣氟化法、全氟烷基碘與氧氣反應(yīng)法、九氟丁基乙醚氧化法、四氟乙烯（TFE）氧氣氧化法等。各制備方法各有優(yōu)劣，如TFE氧氣氧化法轉(zhuǎn)化率高、選擇性好，但原材料成本較高。
　　近年來，隨著研究深入，碳酰氟制備技術(shù)取得了顯著進展，通過工藝技術(shù)改進、反應(yīng)設(shè)備優(yōu)化、分離提純技術(shù)提高等方式，碳酰氟在產(chǎn)率、純度、質(zhì)量等方面均實現(xiàn)大幅提升，為碳酰氟應(yīng)用向新能源、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域擴展奠定了基礎(chǔ)。
　　隨著環(huán)保重視度提升，市場對環(huán)保型材料的需求日益旺盛，未來碳酰氟市場發(fā)展空間廣闊。在全球市場上，日本碳酰氟產(chǎn)業(yè)起步較早，生產(chǎn)企業(yè)主要有關(guān)東化學、昭和電工等。中國碳酰氟產(chǎn)業(yè)起步晚，主要布局企業(yè)及科研機構(gòu)有核工業(yè)理化工程研究院、天津長蘆新材料研究院、泉州宇極、中船重工718所、山東華氟化工、陜西中化藍天等。
　　中國企業(yè)碳酰氟建設(shè)規(guī)模普遍較小，如泉州宇極電子級碳酰氟建設(shè)規(guī)模為5噸/年，中船重工718所碳酰氟為小試生產(chǎn)規(guī)模，陜西中化藍天碳酰氟裝置年產(chǎn)量為200噸。整體來看，中國碳酰氟產(chǎn)業(yè)還存在較大提供空間。
　　碳酰氟為新型氣體刻蝕劑和清洗劑，隨著全球環(huán)保要求不斷提升，碳酰氟將不斷替代傳統(tǒng)刻蝕氣體，未來市場發(fā)展前景廣闊。中國碳酰氟產(chǎn)業(yè)起步晚，目前產(chǎn)業(yè)化規(guī)模仍較小，但整體來說，隨著國內(nèi)技術(shù)突破，碳酰氟產(chǎn)業(yè)規(guī)模處于擴張中。為進一步提高碳酰氟市場競爭力，未來相關(guān)企業(yè)仍需在制備工藝、反應(yīng)設(shè)備等方面持續(xù)探索。