碳化硅懸臂槳是基于碳化硅材料的懸臂槳。懸臂槳是一種用于將承載硅片的舟托移入和移出加熱爐的關(guān)鍵裝載部件。
　　碳化硅（SiC）是一種無機(jī)化合物半導(dǎo)體材料，由硅（Si）和碳（C）元素以1：1的比例構(gòu)成。碳化硅具有高溫強(qiáng)度大、耐磨損性能好、熱穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率大、硬度高等特點(diǎn)，在汽車、信息電子、能源、機(jī)械化工、環(huán)境保護(hù)、空間望遠(yuǎn)鏡等領(lǐng)域應(yīng)用越來越廣泛。
　　反應(yīng)燒結(jié)碳化硅（RBSC）又稱為結(jié)合碳化硅，具有燒結(jié)溫度低、生產(chǎn)成本低、致密化程度高等特點(diǎn)，特別適合懸臂槳、舟托、小舟、爐管等大尺寸復(fù)雜形狀結(jié)構(gòu)件的制備�；�于反應(yīng)燒結(jié)碳化硅的懸臂槳具有強(qiáng)度高、耐腐蝕、晶圓裝載量大、抗熱震穩(wěn)定性好、高溫環(huán)境使用不變形等特點(diǎn)。
　　碳化硅懸臂槳是晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，適用于機(jī)器人自動(dòng)裝載和搬運(yùn)系統(tǒng)，目前已在半導(dǎo)體、光伏等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。在光伏領(lǐng)域，碳化硅懸臂槳承擔(dān)著TOPcon電池等光伏電池的低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）、等離子化學(xué)氣相沉積（PECVD）、擴(kuò)散等熱制程環(huán)節(jié)中硅片的承載、輸送工作。
　　近年來，隨著技術(shù)突破、需求釋放，我國碳化硅懸臂槳生產(chǎn)企業(yè)不斷增加，包括山東華美新材料科技股份有限公司、江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司、湖北朗馳新型材料有限公司、福賽特（唐山）新材料有限公司、濰坊中加碳化硅科技有限公司、山東鑫泓新材料有限公司等，市場競爭將日益加劇。
　　JB/T 13946-2020《碳化硅特種制品 反應(yīng)燒結(jié)碳化硅 懸臂槳》為碳化硅懸臂槳行業(yè)現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)，適用于工作溫度不高于1350℃的反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂槳，其實(shí)施為碳化硅懸臂槳研發(fā)、生產(chǎn)及應(yīng)用提供了技術(shù)支撐。
　　近年來，我國在碳化硅懸臂槳領(lǐng)域也取得了多項(xiàng)技術(shù)專利，如《一種碳化硅懸臂槳的制作方法》、《一種反應(yīng)燒結(jié)碳化硅多孔懸臂槳》、《一種碳化硅懸臂槳熱檢裝置》等，這為碳化硅懸臂槳高質(zhì)量發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。
近年來，我國光伏行業(yè)實(shí)現(xiàn)從“跟跑”到“領(lǐng)跑”的跨越式發(fā)展，根據(jù)國家能源局?jǐn)?shù)據(jù)顯示，截止至2024年11月底，全國累計(jì)太陽能發(fā)電裝機(jī)容量約8.2億千瓦，同比增長46.7%，2024年1-11月，太陽能發(fā)電裝機(jī)新增容量206.3GW。隨著光伏產(chǎn)業(yè)快速擴(kuò)展，碳化硅懸臂槳市場空間將持續(xù)擴(kuò)大。