微納位移傳感器，是一種可以在微米、納米尺度上探測(cè)微小位移變化的高精度傳感器。
　　位移傳感器，是探測(cè)物體運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的位置移動(dòng)相關(guān)物理量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出的裝置。位移傳感器可以廣泛應(yīng)用在電子、汽車(chē)、工業(yè)設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備、航空航天等領(lǐng)域。隨著下游行業(yè)技術(shù)不斷升級(jí)，市場(chǎng)對(duì)位移傳感器的精度要求不斷提高，分辨率達(dá)到微米級(jí)、納米級(jí)的微納位移傳感器受關(guān)注度不斷提升。
　　微納位移傳感器可以應(yīng)用在半導(dǎo)體、高端工業(yè)裝備、生物醫(yī)學(xué)、光學(xué)顯微成像、精密測(cè)量等領(lǐng)域。例如在半導(dǎo)體領(lǐng)域，微納位移傳感器可以應(yīng)用在光刻環(huán)節(jié)，光刻是通過(guò)光學(xué)投影將掩膜版的電路圖案復(fù)制到硅晶圓上的過(guò)程，在光刻過(guò)程中，光刻圖案要精確對(duì)準(zhǔn)硅晶圓相應(yīng)位置，微納位移傳感器可以應(yīng)用在此環(huán)節(jié)中，用來(lái)確�？虒�(xiě)線條的位置精度。
　　在光學(xué)顯微成像領(lǐng)域，普通光學(xué)顯微鏡、冷凍電子顯微鏡、激光掃描共聚焦顯微鏡等多種技術(shù)，均需要樣本能夠快速移動(dòng)并定位、鏡頭快速對(duì)焦，這就需要采用納米級(jí)定位技術(shù)，納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)不可或缺，而能夠?qū)崿F(xiàn)超精密傳感的微納位移傳感器是其中重要一環(huán)。
　　微納位移傳感器可以基于光柵、電容、電感、磁致伸縮等原理來(lái)實(shí)現(xiàn)。光柵位移傳感器采用光柵疊柵條紋原理測(cè)量位移，抗干擾性強(qiáng)，分辨率可達(dá)到納米級(jí)別；電容位移傳感器基于電容變化原理測(cè)量位移，靈敏度高，測(cè)量精度穩(wěn)定性好；電感位移傳感器利用線圈感應(yīng)系數(shù)變化測(cè)量位移，靈敏度高，分辨率高；磁致伸縮位移傳感器基于磁致伸縮原理測(cè)量位移，抗干擾性強(qiáng)，測(cè)量精度高。
　　2023年12月，我國(guó)國(guó)家發(fā)改委修訂發(fā)布新版《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》，于2024年2月1日正式施行，鼓勵(lì)類(lèi)項(xiàng)目智能制造板塊，將傳感器列入，微納位移傳感器是其中之一。
   我國(guó)微納位移傳感器相關(guān)研究機(jī)構(gòu)正在增多。中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)團(tuán)隊(duì)通過(guò)微納結(jié)構(gòu)的光場(chǎng)調(diào)控技術(shù)取得了亞納米級(jí)測(cè)量精度，基于此實(shí)現(xiàn)了平面內(nèi)納米位移的高精度光學(xué)感測(cè)；長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué)研發(fā)團(tuán)隊(duì)基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)與壓電疊堆技術(shù)，研發(fā)出微納壓電位移臺(tái)，樣機(jī)技術(shù)指標(biāo)為平臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程大于10mm，定位精度小于50nm。