磁光克爾顯微鏡是一種利用磁光克爾效應(yīng)（MOKE）觀察磁性材料或器件表面磁化狀態(tài)的成像設(shè)備。磁光克爾效應(yīng)是一種物理現(xiàn)象，描述的是光入射到介質(zhì)材料后，其偏振相關(guān)的物理屬性會(huì)發(fā)生的變化，分為極向、縱向、橫向磁光克爾效應(yīng)三種。
　　磁光克爾顯微鏡通常由光路結(jié)構(gòu)、磁場(chǎng)發(fā)生系統(tǒng)、樣品載體結(jié)構(gòu)、磁光克爾圖像處理系統(tǒng)等組成，包括起偏器、檢篇器、分束鏡等部件。根據(jù)檢出敏感磁化方向不同，磁光克爾顯微鏡分為極向磁光克爾顯微鏡、縱向磁光克爾顯微鏡、橫向磁光克爾顯微鏡和混合型磁光克爾顯微鏡四種。
　　磁光克爾顯微鏡是一種磁性表征儀器，通過檢測(cè)反射光偏振面的變化，來獲得材料磁結(jié)構(gòu)信息。磁光克爾顯微鏡對(duì)樣品具有一定要求，只有具有磁性或光學(xué)各向異性的樣品才能通過其進(jìn)行成像。
　　磁光克爾顯微鏡具有非接觸式、高分辨率、非破壞性、實(shí)時(shí)觀測(cè)等優(yōu)勢(shì)，主要用于鐵磁性/亞鐵磁性薄膜、磁性納米顆粒、磁性多層膜、塊體材料、帶狀材料等磁性材料及具有光學(xué)各向異性的晶體材料表面磁疇、磁斯格明子、磁半子、磁渦旋等磁結(jié)構(gòu)的觀測(cè)。
　　磁光克爾顯微鏡是磁性材料磁結(jié)構(gòu)實(shí)時(shí)觀測(cè)的新工具，其應(yīng)用將有助于新型磁性材料和磁性器件開發(fā)，在自旋電子學(xué)、磁性傳感、磁性存儲(chǔ)、材料科學(xué)、納米科學(xué)、低溫超導(dǎo)、醫(yī)學(xué)影像等多個(gè)領(lǐng)域具有廣闊應(yīng)用空間。
　　全球磁光克爾顯微鏡生產(chǎn)企業(yè)有德國(guó)蔡司卡爾、真精密儀器（青島）有限公司、托托科技（蘇州）有限公司等。真精密儀器成立于2019年，由北京航空航天大學(xué)孵化，于2020年研制出國(guó)內(nèi)首款商用磁光克爾顯微鏡，分辨率達(dá)到300納米，該設(shè)備已在國(guó)內(nèi)幾十家科研單位和企業(yè)中裝機(jī)使用。此外真精密儀器還推出了國(guó)內(nèi)首臺(tái)產(chǎn)業(yè)級(jí)晶圓磁光克爾測(cè)量?jī)x，實(shí)現(xiàn)了磁性芯片及磁性傳感器量產(chǎn)所需的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備自主可控。
   磁光克爾顯微鏡可以清晰呈現(xiàn)磁性樣品內(nèi)磁結(jié)構(gòu)信息，適用于磁性材料及磁性電子器件的測(cè)試和研發(fā)，隨著磁性材料研究深入、應(yīng)用擴(kuò)展，磁光克爾顯微鏡市場(chǎng)空間將不斷擴(kuò)大。目前我國(guó)已實(shí)現(xiàn)磁光克爾顯微鏡自主供應(yīng)，打破了國(guó)外企業(yè)在該領(lǐng)域的壟斷，未來在國(guó)內(nèi)企業(yè)探索下，國(guó)產(chǎn)磁光克爾顯微鏡將進(jìn)一步向多功能、高分辨率等方向發(fā)展。