類金剛石薄膜（DLC薄膜）研究取得新進(jìn)展 PECVD法有望成為其主流制備方法
     類金剛石薄膜又稱DLC薄膜，指具有類似金剛石性能的非晶態(tài)碳薄膜。DLC薄膜含有sp3和sp2雜化的碳原子，具有化學(xué)穩(wěn)定性好、耐磨性好、硬度高、生物相容性好、電絕緣性佳、熱穩(wěn)定性佳、摩擦系數(shù)低等優(yōu)勢，適用于生物醫(yī)學(xué)、汽車制造、電子電氣、航空航天等領(lǐng)域。
    DLC薄膜制備方法包括液相沉積法、物理氣相沉積法以及化學(xué)氣相沉積法三種。液相沉積法以電化學(xué)沉積法為代表，具有綠色環(huán)保、參數(shù)易控制等優(yōu)勢，但成品質(zhì)量較差；物理氣相沉積法可細(xì)分為弧光放電法、非平衡磁控濺射法、脈沖激光沉積法等，其運(yùn)行成本較高；化學(xué)氣相沉積法以等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）為代表，具有反應(yīng)速度快、成品質(zhì)量好等優(yōu)勢，可通過控制沉積參數(shù)制得高質(zhì)量產(chǎn)品，未來有望成為DLC薄膜主流制備方法。
   DLC薄膜主要應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、汽車制造、電子電氣、航空航天等領(lǐng)域。在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，DLC薄膜具有無毒、生物相容性好等優(yōu)勢，可用于手術(shù)器械、假肢以及植入材料制備過程中；在汽車制造領(lǐng)域，其可用于汽車發(fā)動機(jī)部件制造過程中；在電子電氣領(lǐng)域，其可用作電子元器件保護(hù)材料；在航空航天領(lǐng)域，其可用于飛行器引擎部件以及衛(wèi)星組件表面。
    近年來，我國DLC薄膜研發(fā)熱情持續(xù)高漲，已取得眾多新進(jìn)展。2022年3月，中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所低維潤滑材料課題組的研究人員基于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)，成功制備出一種異形件表面DLC薄膜，產(chǎn)品未來有望在刀具、齒輪、活塞環(huán)等異形件表面獲得應(yīng)用。
    我國DLC薄膜主要生產(chǎn)商包括菲沃泰、長信科技、梯愛司新材、久之洋等。菲沃泰專注于納米薄膜產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，為我國DLC薄膜代表企業(yè)。菲沃泰采用自主研發(fā)的PECVD設(shè)備制備DLC薄膜，其產(chǎn)品兼具高硬度以及高耐磨性，在顯示器件中已獲得應(yīng)用。
   DLC薄膜作為一種高性能薄膜，在眾多高新技術(shù)領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。在市場競爭方面，目前我國已有多家企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)布局DLC薄膜行業(yè)研發(fā)及生產(chǎn)賽道，其市場競爭日益激烈。未來伴隨研究深入、技術(shù)進(jìn)步，我國DLC薄膜行業(yè)發(fā)展速度將進(jìn)一步加快。