硅基鍺光電探測(cè)器，指在硅襯底上外延生長(zhǎng)鍺吸收層的半導(dǎo)體光電器件。硅基鍺光電探測(cè)器具備靈敏度高、傳輸速度快、CMOS兼容性好、尺寸小以及功耗低等特點(diǎn)，在生物醫(yī)學(xué)、通信系統(tǒng)、數(shù)據(jù)中心、自動(dòng)駕駛、航空航天以及工業(yè)傳感等領(lǐng)域擁有巨大應(yīng)用潛力。
    按照結(jié)構(gòu)不同，硅基鍺光電探測(cè)器主要包括波導(dǎo)結(jié)構(gòu)硅基鍺光電探測(cè)器、面入射結(jié)構(gòu)硅基鍺光電探測(cè)器兩種類型。波導(dǎo)結(jié)構(gòu)硅基鍺光電探測(cè)器具備易于集成優(yōu)勢(shì)，在片上光互連場(chǎng)景應(yīng)用較多；面入射結(jié)構(gòu)硅基鍺光電探測(cè)器具備靈活性高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì)，適用范圍較廣，為硅基鍺光電探測(cè)器市場(chǎng)主流產(chǎn)品。
   近年來，隨著研究深入，硅基鍺光電探測(cè)器種類日益豐富，高質(zhì)量產(chǎn)品市場(chǎng)占比不斷提升。光柵導(dǎo)模共振增強(qiáng)型硅基鍺光電探測(cè)器、諧振腔增強(qiáng)型硅基鍺光電探測(cè)器、光學(xué)超表面增強(qiáng)型硅基鍺光電探測(cè)器、高帶寬波導(dǎo)鍺光電探測(cè)器、高響應(yīng)度硅基鍺光電探測(cè)器等為新型硅基鍺光電探測(cè)器。光學(xué)超表面增強(qiáng)型硅基鍺光電探測(cè)器基于光學(xué)超表面技術(shù)制得，可以實(shí)現(xiàn)1550nm高效探測(cè)。
硅基鍺光電探測(cè)器在眾多領(lǐng)域擁有巨大應(yīng)用潛力。在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，硅基鍺光電探測(cè)器可用于開發(fā)生物傳感器，還可用于早期癌癥診斷過程中；在通信系統(tǒng)領(lǐng)域，其具備傳輸速度快、可實(shí)現(xiàn)高效集成、靈敏度高等優(yōu)勢(shì)，可用于光纖通信技術(shù)中；在自動(dòng)駕駛領(lǐng)域，其可用于自動(dòng)駕駛汽車?yán)走_(dá)系統(tǒng)中。未來伴隨下游行業(yè)發(fā)展速度加快，硅基鍺光電探測(cè)器市場(chǎng)空間將得到進(jìn)一步擴(kuò)展。
   隨著行業(yè)景氣度提升，我國(guó)布局硅基鍺光電探測(cè)器研發(fā)及生產(chǎn)賽道的科研機(jī)構(gòu)數(shù)量不斷增長(zhǎng)，主要包括哈爾濱工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院、上海集成電路研發(fā)中心、華中科技大學(xué)、上海大學(xué)、武漢光谷信息光電子創(chuàng)新中心等。未來伴隨技術(shù)進(jìn)步，我國(guó)硅基鍺光電探測(cè)器行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)將持續(xù)向好。
   硅基鍺光電探測(cè)器作為硅基探測(cè)器代表產(chǎn)品，潛在應(yīng)用價(jià)值巨大。從細(xì)分產(chǎn)品來看，面入射結(jié)構(gòu)硅基鍺光電探測(cè)器綜合性能優(yōu)良，適用范圍較廣。受益于本土企業(yè)及相關(guān)科研機(jī)構(gòu)持續(xù)發(fā)力，我國(guó)硅基鍺光電探測(cè)器技術(shù)不斷進(jìn)步，其高質(zhì)量產(chǎn)品市場(chǎng)占比不斷提升。