旋涂碳（SOC），指通過(guò)旋涂工藝形成的高含碳聚合物薄膜材料。旋涂碳具備增強(qiáng)蝕刻選擇性、抗反射能力強(qiáng)、工藝兼容性好以及熱穩(wěn)定性佳等優(yōu)勢(shì)，在半導(dǎo)體制造的光刻工藝中應(yīng)用較多。
   旋涂碳通常以膨脹石墨、石墨烯以及片層石墨等碳材料為基材制成。我國(guó)地域遼闊，礦產(chǎn)資源豐富，石墨產(chǎn)量長(zhǎng)期保持增長(zhǎng)趨勢(shì)。2024年我國(guó)石墨產(chǎn)量達(dá)到近150萬(wàn)噸，同比增長(zhǎng)近10%。內(nèi)蒙古、黑龍江、山東、吉林、湖南以及河北等地為我國(guó)石墨主產(chǎn)區(qū)。原材料優(yōu)勢(shì)將為我國(guó)旋涂碳行業(yè)發(fā)展提供有利條件。
   旋涂碳主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的光刻工藝中。近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展速度加快，我國(guó)光刻工藝不斷進(jìn)步，主要包括極紫外光刻、準(zhǔn)分子光刻以及電子束光刻等。旋涂碳能夠填充和填平較高深寬比溝槽，具備提高良品率、改善光刻圖案均勻性等作用。未來(lái)伴隨應(yīng)用需求不斷增長(zhǎng)，我國(guó)旋涂碳行業(yè)發(fā)展空間將得到進(jìn)一步擴(kuò)展。
     全球旋涂碳行業(yè)集中度較高，頭部?jī)?yōu)勢(shì)企業(yè)合計(jì)占據(jù)市場(chǎng)近九成份額。韓國(guó)三星集團(tuán)（SAMSUNG）、韓國(guó)株式會(huì)社東進(jìn)世美肯（DONGJIN SEMICHEM）、日本合成橡膠公司（JSR）、德國(guó)默克公司（Merck）以及美國(guó)布魯爾科學(xué)公司（Brewer Science）等為全球旋涂碳市場(chǎng)主要參與者。三星推出的高溫旋涂碳硬掩模已在LCD、DRAM、NAND等半導(dǎo)體和顯示器件制備過(guò)程中獲得應(yīng)用。Brewer Science推出的OptiStack® SOC410/450®材料具備自流平特性，可用于填充微米級(jí)溝槽。
    在本土方面，廈門恒坤新材料科技股份有限公司為我國(guó)旋涂碳代表企業(yè)。恒坤新材專注于集成電路關(guān)鍵材料的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，主營(yíng)產(chǎn)品包括底部抗反射涂層、旋涂碳、i-Line光刻膠以及KrF光刻膠等，長(zhǎng)江存儲(chǔ)、經(jīng)緯電子等為其主要客戶。目前，恒坤新材旋涂碳銷量已位居我國(guó)行業(yè)領(lǐng)先。據(jù)恒坤新材企業(yè)年報(bào)顯示，2024年公司旋涂碳材料實(shí)現(xiàn)營(yíng)收2.3億元。
   旋涂碳作為光刻材料，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域需求旺盛。未來(lái)伴隨下游行業(yè)景氣度提升，我國(guó)旋涂碳市場(chǎng)空間將得到進(jìn)一步擴(kuò)展。受技術(shù)壁壘高、生產(chǎn)成本高等因素限制，我國(guó)旋涂碳市場(chǎng)參與者較少。未來(lái)隨著技術(shù)進(jìn)步，我國(guó)旋涂碳行業(yè)發(fā)展速度將進(jìn)一步加快。