旋涂玻璃（SOG），指通過旋涂技術(shù)在基板表面形成薄膜的功能性材料。旋涂玻璃具備平坦度高、耐腐蝕、化學(xué)穩(wěn)定性好、絕緣性佳、光學(xué)特性好等優(yōu)勢，在半導(dǎo)體制造的光刻工藝中應(yīng)用較多。
旋涂玻璃通常以聚硅氧烷、正硅酸乙酯以及全氫聚硅氮烷為原材料制成。聚硅氧烷具備吸水性，但其高溫穩(wěn)定性較差；正硅酸乙酯具備耐熱性，但在旋涂玻璃制備過程中易產(chǎn)生裂化；采用全氫聚硅氮烷（PHPS）制成的旋涂玻璃，具備彈性模量高、硬度大、膜層致密、介電常數(shù)高等優(yōu)勢。近年來，隨著技術(shù)進(jìn)步，我國全氫聚硅氮烷產(chǎn)量有所增長，這將為旋涂玻璃行業(yè)發(fā)展提供有利條件。
光刻材料種類豐富，包括光刻膠、旋涂玻璃（SOG）、旋涂碳（SOC）、抗反射涂層（ARC）等。近年來，國家對于光刻材料行業(yè)發(fā)展高度重視，已出臺多項(xiàng)相關(guān)政策，包括《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》、《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2024年版）》、《關(guān)于推動未來產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的實(shí)施意見》等。未來伴隨國家政策支持，我國旋涂玻璃行業(yè)發(fā)展速度有望加快。
旋涂玻璃主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的光刻工藝中，能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓平坦化處理。在應(yīng)用需求拉動下，全球旋涂玻璃市場規(guī)模不斷增長，2024年同比增長近8%。在本土方面，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國大尺寸晶圓行業(yè)景氣度不斷提升。2024年我國12英寸晶圓月均產(chǎn)能達(dá)到近250萬片，同比增長超過10%。未來隨著晶圓產(chǎn)能不斷擴(kuò)張，我國旋涂玻璃行業(yè)發(fā)展空間有望擴(kuò)展。
全球旋涂玻璃主要生產(chǎn)企業(yè)包括韓國三星、德國默克以及日本JSR三家。在本土方面，我國旋涂玻璃行業(yè)尚處于起步階段，受技術(shù)壁壘高等因素限制，市場參與者較少�？涮┛司邆湫�涂玻璃規(guī)�；�生產(chǎn)實(shí)力，產(chǎn)品已在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域獲得應(yīng)用。
受益于半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展速度加快，旋涂玻璃將迎來廣闊市場前景。在市場競爭方面，歐美以及日韓國家長期占據(jù)旋涂玻璃市場主導(dǎo)地位。目前，我國旋涂玻璃生產(chǎn)企業(yè)較少，市場占比較低。未來伴隨國家政策支持以及技術(shù)進(jìn)步，我國旋涂玻璃產(chǎn)量及質(zhì)量有望提升。