當(dāng)前光刻機(jī)行業(yè)在國(guó)產(chǎn)替代與技術(shù)突破的雙重驅(qū)動(dòng)下加速整合，頭部企業(yè)通過(guò)核心部件研發(fā)與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同構(gòu)建差異化優(yōu)勢(shì)。光刻機(jī)整機(jī)、光學(xué)系統(tǒng)、掩膜版及配套材料成為關(guān)鍵競(jìng)爭(zhēng)領(lǐng)域，而高精度運(yùn)動(dòng)控制與檢測(cè)技術(shù)的突破進(jìn)一步縮小與國(guó)際差距。未來(lái)，隨著政策支持與資本投入加大，具備全鏈條技術(shù)整合能力的企業(yè)將在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中占據(jù)更重要的戰(zhàn)略地位。