全球干式真空泵主要廠商有Atlas Copco、Ebara、Pfeiffer Vacuum、Flowserve、Agilent等,全球前五大廠商共占有大約70%的市場(chǎng)份額。歐洲是全球最大的干式真空泵市場(chǎng),占有大約40%的市場(chǎng)份額,之后是北美和日本市場(chǎng),二者共占有大約20%的份額。
全球干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)因素來自于制藥業(yè),制藥企業(yè)利用干式真空泵在藥品、中間體、原料的制造過程中保持適宜的反應(yīng)環(huán)境,以及用于不斷增長(zhǎng)的新藥研發(fā)活動(dòng)。亞太地區(qū)是干式真空泵市場(chǎng)增速最快的區(qū)域,主要驅(qū)動(dòng)因素是持續(xù)增長(zhǎng)的半導(dǎo)體和電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
隨著我國(guó)科技水平的提高和經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,干式真空泵在制造業(yè)、半導(dǎo)體、光電、航空等領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛。目前,國(guó)內(nèi)干式真空泵市場(chǎng)已經(jīng)逐漸成熟,市場(chǎng)體量不斷擴(kuò)大。據(jù)統(tǒng)計(jì),我國(guó)干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到了70億元人民幣。國(guó)內(nèi)領(lǐng)軍企業(yè)主要有漢鐘精機(jī)、中科儀等。
我國(guó)干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模分析
A、集成電路領(lǐng)域干式真空泵市場(chǎng):干式真空泵是半導(dǎo)體各制程中必備的通用設(shè)備,應(yīng)用于單晶拉晶、Load-Lock、刻蝕、CVD、原子層沉積(ALD)、封裝、測(cè)試等清潔或嚴(yán)苛制程。受益于近年來集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定增長(zhǎng),干式真空泵產(chǎn)業(yè)也保持著持續(xù)穩(wěn)步的發(fā)展態(tài)勢(shì)。中國(guó)大陸集成電路用干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模合計(jì)50億元。
B、光伏領(lǐng)域干式真空泵市場(chǎng):干式真空泵是光伏產(chǎn)業(yè)的晶體生長(zhǎng)和硅片生產(chǎn)的必備設(shè)備。預(yù)計(jì)未來幾年光伏產(chǎn)業(yè)對(duì)干式真空泵的市場(chǎng)需求為每年12-15億元。
C、干式真空泵在其他產(chǎn)業(yè)應(yīng)用情況除集成電路和光伏產(chǎn)業(yè)外,干式真空泵作為通用設(shè)備,由于其具備良好的潔凈真空特性和可靠性,因而是LED產(chǎn)業(yè)的外延片生長(zhǎng)和芯片制造、平板顯示業(yè)PVD等工藝環(huán)節(jié)真空環(huán)境獲得的主要設(shè)備。此外,干式真空泵在鋰電池烘干工序,以及制藥、化工等產(chǎn)業(yè)中均有較為廣泛的應(yīng)用。